產品概述

4K閉循環低溫探針臺在科學研究和技術開發中發揮著至關重要的作用。它能夠在低溫環境下對樣品進行各種非破壞性的物理性能和電學性能測試，幫助研究人員深入了解材料或者器件的各種物理性能和電學性能，從而為新材料的研發和應用提供重要的數據支持。

PSM-4K系列低溫探針臺是的一款性能超好的閉循環低溫探針臺，其緊湊型以及低振動的設計，能夠為半導體芯片的電學參數測試提供一個＜5K-350K高低溫真空測試環境。采用閉循環制冷，無需消耗液氦，溫度4.5K。

特點
• 采用閉循環制冷，無需消耗液氦，溫度4.5K。
• 探針臂的位移調節在真空腔外操作，可以在不破壞真空 的情況下，切換樣品上的不同器件進行測試。
• 特別的探針臂 X-Y-Z-R四維調節，能滿足4英寸樣品的測試。
• 真空腔材質為鋁制材料，能夠有效減小外界的電磁干擾，提高測試的精準度和穩定性。
• 探針臂采用三同軸接頭，漏電性能好，實測漏電流小于100fA @1V@4.5K-350K。
• 測試溫度范圍寬，支持4.5K-350K連續變溫。
• 特別設計的柔性探針，將探針安裝到銅制彈片上，避免扎針過程中力量過大導致樣品或電極損壞。

技術參數

參數和指標：